支持企业发展壮大
（一）扶持范围：上年度营业收入首次突破2000万元、5000万元、1亿元、3亿元、5亿元、10亿元的半导体与集成电路相关企业。
（二）扶持方式和标准：对年度营业收入首次突破上述规模的企业，分别给予20万元、50万元、100万元、150万元、200万元、300万元的一次性奖励，年度营业收入每上一个台阶按相应标准追加差额奖励。对上年度营业收入已超出10亿元以上的企业，每增加10亿元营业收入对应奖励增加100万元，单个企业奖励上限1000万元。
降低企业租金成本
（一）扶持范围：实收资本不低于500万元的半导体与集成电路相关企业。
（二）扶持方式和标准：按照上年度在原有产业用房面积基础上新增租赁产业用房开展半导体与集成电路业务实际发生租金的50%，给予每年最高100万元的资助。
（三）审核方式：核准制。扶持范围企业须提前向区产业主管部门报备。
本实施细则自2023年8月28日起施行，有效期3年。